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使用同步加速器做为光刻机光源已经提出很多年了，同步辐射的优点很明显：可产生高功率光，无碎屑污染，可稳定出光；缺点也很明显：系统复杂、庞大、造价高昂、灵活性差、维护 ...

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作者：周奎 — 日本高能加速器研究机构（KEK）建. 设了一台紧凑型能量回收型直线加速器（cERL），并将. 其作为EUV 光刻光源的预研装置，开展了系列的优化. 和实验研究［41-43］。在国内，中国工程 ...

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2025年9月18日 — 简单来说，EUV 光是在加速器中产生的。然后，EUV 光通过类似光子管道的 ... 理论上，xLight 的技术可以用于低数值孔径EUV、高数值孔径EUV 甚至超数值孔径EUV。

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2021年2月26日 — 大功率EUV光源的突破对于EUV光刻进一步的应用和发展至关重要。唐传祥说：“基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV ...

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2023年2月13日 — 高功率EUV光源是限制我国半导体先进制程的一个重要瓶颈。本报告介绍一种基于电子加速器（电子储存环）的高功率EUV产生方案，并分析其优缺点和技术难点。

wulixb.iphy.ac.cn

本文在对现有加速器光源—同步辐射光源和自由电子激光简要介绍的基础上, 对SSMB的概念及潜力、原理验证实验进展、核心物理及关键技术挑战、清华SSMB-EUV光源方案及其对 ...

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2025年7月31日 — 7月14日，美国纽约州州长宣布位于奥尔巴尼纳米技术中心（Albany Nanotech Complex）的CHIPS for America极紫外光刻（EUV）加速器启用。该设施是美国国家半导体 ...

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2025年1月24日 — 除了国外的DPP和LDD的光刻机光源方案以外，中国开发了一个最为创新、最为颠覆性的加速器光源SSMB-EUV，即稳态微聚束极紫外光源路线，由清华大学主导。加速器 ...

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一种EUV辐射源，包括：燃料源，配置用于将燃料供给至等离子体形成位置。所述燃料源包括：喷嘴，配置用于喷射燃料液滴；以及液滴加速器，配置用于加速燃料液滴。

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2024年6月14日 — 该替代方案涉及利用粒子加速器的能量来实现更经济、更快速、更高效的EUV光刻技术。研究人员称，EUV光刻的最佳替代候选方案是开发能量回收线性加速器，使用 ...

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