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高端硅基材料----硅基材料与集成器件实验室 - CAS
经过近30年的发展，掌握了多项SOI材料制备的核心技术并且发展出具有自主知识产权的Simbond工艺，成为国内最主要的SOI材料研究基地，于2001年孵化出上海新傲科技股份有限 …
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一种基于Bonding和Sim-bond技术的SOI硅片制 …
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SOI材料与制备工艺【抗辐照SOI系列2/8】 - 知乎
2019年8月8日 · SimBond SOI 工艺特点如图，工艺成果类似于 结合 BESOI与SIMOX的效果。 制备工艺 对初始商用SOI wafer，将大剂量的N/Si/F等元素注入到 氧化物 埋层 中，进行 退火 修 …
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2) 2005年，新傲开发出键合SOI材料生产技术；同年，在结合SIMOX和键合技术的基础上，新傲开发出具有自主知识产权的Simbond®技术(ZL 200510028365.6)。
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大硅片龙头沪硅产业关键技术究竟如何？说说三种重要的SOI技术
2021年4月9日 · 上海新傲科技成立于2001年，由中科院上海微系统所联合中外投资者合资设立，公司是目前中国领先的SOI硅片生产基地，拥有注氧隔离（SIMOX）、BESOI及完全自主开发 …
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上海新傲科技股份有限公司_百度百科
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2021年6月23日 · 在传统的键合和离子注入技术的基础上，大恒及其合作伙伴发展了制备SOI材料的又一种方法：Simbond。 即在硅材料上注入离子，产生了一个分布均匀的离子注入层。